| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
CVD ダイヤモンド電極の放電特性 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Discharge properties of CVD diamond film electrodes |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
hot-filament CVD |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
diamond thin film |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
breakdown voltage |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
secondary electron |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Ne plasma |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00001050 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
山口, 聡
村上, 雅彦
高畠, 信也
三栖, 貴行
後藤, みき
荒井, 俊彦
Yamaguchi, Satoshi
Murakami, Masahiko
Takabatake, Nobuya
Misu, Takayuki
Goto, Miki
Arai, Toshihiko
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Hot-filament chemical vapor deposition (CVD) of diamond was used to obtain polycrystalline diamond thin film electrodes on silicon substrates. Deposition was carried out using by a mixture of CH4/H2 gases through a heated reactor in which a hot tungsten filament was held near the substrates. The films were evaluated by using scanning electron microscope (SEM) and Raman spectroscopy. The breakdown voltages for electrodes of CVD diamond thin films were measured under various Ne pressure by V-Q Lissajous method. The breakdown voltages for diamond electrode decreased with increase of Raman spectra intensity at 1333cm-1. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 34,
p. 41-43,
発行日 2010-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-034-007.pdf (913.5 kB)
