| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
RFマグネトロンスパッタ法により製作したMgO 薄膜の結晶性に及ぼす基板温度の影響--材料分析室利用研究成果、そのXXIX(2)-- |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Effect of substrate temperature on the crystalline of MgO thin films by RF magnetron sputtering--Research works accomplished by using materials a nalysis facilities: XXIX(2)-- |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MgO thin films |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
substrate temperature |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
RF magnetron sputtering |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
XRD |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
secondary emission coefficient γ |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00001166 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
後藤, みき
今井, 雄貴
光高, 諒
中山, 玄
三栖, 貴行
荒井, 俊彦
Goto, Miki
Imai, Yuki
Mitsutaka, Ryo
Nakayama, Hikaru
Misu, Takayuki
Arai, Toshihiko
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Magnesium oxide (MgO) thin films are great concern as electrode protection layer with very high secondary emission coefficient (γ) in the application such as plasma display panel (PDP). We have studied the effect of the substrate temperature on the crystalline structure and the secondary emission coefficient γ of MgO films. The MgO thin films have been fabricated by RF magnetron sputtering technique with various substrate temperatures of growth parameters. The secondary emission coefficient γ were estimated the breakdown voltage in Ne gas. The crystalline structure of the films was confirmed by X-ray diffraction (XRD) analysis. As a result, the preferred orientation of MgO thin films was observed in the [200] plane at substrate temperature between room temperature and 700℃. For temperatures above 500 ℃, [111] plane peak was observed. The secondary emission coefficient γ had a maximum at the substrate temperature of about 500℃. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 43,
p. 17-20,
発行日 2019-03-01
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
21882878 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12669200 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-043-004.pdf (1.3 MB)
