Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
公開日 |
2020-11-24 |
タイトル |
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タイトル |
CF4ホローカソード放電中のF,CF2の放射強度に及ぼすO2の影響 |
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言語 |
ja |
タイトル |
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タイトル |
Effect of O2 on F and CF2 Emission Intensities in a CF4 Hollow Cathode Discharge |
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言語 |
en |
言語 |
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言語 |
jpn |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00000670 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
著者 |
麻生, 義典
高山, 大輔
後藤, みき
荒井, 俊彦
Asoh, Yoshinori
Takayama, Daisuke
Goto, Miki
Arai, Toshihiko
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内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
電気電子工学 |
書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 17,
p. 195-198,
発行日 1993-03-20
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出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |