WEKO3
アイテム
レーザー誘起蛍光法を用いたCF4放電プラズマ中のCF2ラジカルの拡散係数の測定
https://doi.org/10.34411/00000704
https://doi.org/10.34411/00000704a9a72d53-c75d-47e6-a792-4b54d72d6f21
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kkb-018-018.pdf (1.3 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-11-24 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | レーザー誘起蛍光法を用いたCF4放電プラズマ中のCF2ラジカルの拡散係数の測定 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Measurements of Diffusion Coefficient of CF2 Radical in CF4 Discharge Plasma Using Laser Induced Flourescence | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 電気電子工学 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.34411/00000704 | |||||||||||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
高山, 大輔
× 高山, 大輔
× 清水, 哲也
× 麻生, 義典
× 後藤, みき
× 荒井, 俊彦
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| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編 巻 18, p. 147-151, 発行日 1994-03-20 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 神奈川工科大学 | |||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 09161902 | |||||||||||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||
