| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
しきい値イオン化質量分析法による値流励起CF4プラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカル密度測定 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Measurement of CFx(x=1〜3) Radical Densities in a DC CF4 Plasma by Threshold Ionization Mass Spectrometry |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00000786 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
藤岡, 寛之
村上, 雅彦
堀越, 恵太
後藤, みき
荒井, 俊彦
Fujioka, Hiroyuki
Murakami, Masahiko
Horikoshi, Keita
Goto, Miki
Arai, Toshihiko
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| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
電気電子工学 |
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言語 |
ja |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 21,
p. 57-60,
発行日 1997-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-021-010.pdf (1.4 MB)
