WEKO3
アイテム
Optical Monitoring of Aging Effect of YBa2Cu3Ox Targets in RF Magnetron Sputtering
https://doi.org/10.34411/00000793
https://doi.org/10.34411/000007930e7cba6a-0d2c-48fb-ad90-0060a7efe155
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kkb-021-025.pdf (4.1 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-11-24 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Optical Monitoring of Aging Effect of YBa2Cu3Ox Targets in RF Magnetron Sputtering | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | eng | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.34411/00000793 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| 著者 |
Bandai, Toshio
× Bandai, Toshio
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| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 電気電子工学 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編 巻 21, p. 169-179, 発行日 1997-03-20 |
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| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 神奈川工科大学 | |||||||
| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 09161902 | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
