WEKO3
アイテム
研磨時シリコンウェーバのバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度の非接触測定
https://doi.org/10.34411/00000817
https://doi.org/10.34411/000008175fa1f0e7-1edb-468b-86fc-8c69edfce8fe
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kkb-022-011.pdf (1.4 MB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-11-24 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | 研磨時シリコンウェーバのバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度の非接触測定 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Noncontact Bulk Carrier Life time and Surface Recombination Velocity Measurements of Polishing Si Wafers | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | BSPCD method | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Bulk lifetime | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Surface recombination velocity | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Si wafer | |||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||
| 主題 | Mirror polishing | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.34411/00000817 | |||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||
| 著者 |
駒場, 貴文
× 駒場, 貴文
× 管, 正典
× 荻田, 陽一郎
|
|||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||
| 内容記述 | The bulk carrier lifetime and surface recombination velocity are determined to be 624-659μs and 9497- I5 I 13 cm/s, respectively, for p-type IO Qcm Si wafers with various surfaces such as as-sliced and aspolished, by the noncontact BSPCD (Bi-surface photoconductivity decay) method |
|||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編 巻 22, p. 63-66, 発行日 1998-03-20 |
|||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 神奈川工科大学 | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 09161902 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10074179 | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
