| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
UV/ミリ波PCD法における最大感度条件とSiエピタキシャルウェーハおよび極表面層評価 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Condition for Maximum Sensitivity in UV/Millimeter-Wave PCD Technique and Characterization of Epitaxial Layer and Subsurface Damage in Si Wafers Using Its Technique |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
UV/millimeter-wave |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
photoconductivity |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Silicon wafer |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Subsurface damage |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Epitaxial wafer |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00000900 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
荻田, 陽一郎
願念, 雄一郎
Ogita, Yoh-ichiro
Gannen, Yu-ichiro
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
The technique for high measurement sensitivity in UV/Millimeter-wave PCD technique with 100 GHz millimeter wave has been discussed theoretically and experimentally. The maximum sensitivity was obtained near the matching between a radiated 100Ghz wave and Si wafer samples. The technique detected epilayer contamination as 1011 cm -3 order of Mo and Fe induced in the epitaxial crystal growth process. The technique also detected very slight subsurface damage induced by mirror polishing in commercial level wafers. The PCA signal with the technique well reflected removal of the damage by SCI cleaning. The behavior of PCA measured well agreed with the recovery of gate oxide integrity in MOS devices. The damage depth was determined to be 21 nm. PCA in UV/Millimeter-wave technique well revealed the subsurface damage induced by the final mirror polishing |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 25,
p. 29-33,
発行日 2001-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-025-005.pdf (2.2 MB)
