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  1. 紀要(神奈川工科大学研究報告)
  2. B 理工学編
  3. 第21号-第30号(1996年度-2005年度)
  4. 第26号

CF4プラズマにおけるCF2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響

https://doi.org/10.34411/00000915
https://doi.org/10.34411/00000915
41d8117e-95f9-4ed2-8ead-9514b9399e7e
名前 / ファイル ライセンス アクション
kkb-026-003.pdf kkb-026-003.pdf (1.6 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2020-11-24
タイトル
タイトル CF4プラズマにおけるCF2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響
言語 ja
タイトル
タイトル Influence of Wall Heating on CF2 Radical in CF4 Plasma
言語 en
言語
言語 jpn
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 etching plasma
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 CF2 radical wall temperature
キーワード
言語 en
主題Scheme Other
主題 surface process
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
ID登録
ID登録 10.34411/00000915
ID登録タイプ JaLC
著者 愛敬, 仁

× 愛敬, 仁

ja 愛敬, 仁

en Aikyo, Satoshi

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後藤, みき

× 後藤, みき

ja 後藤, みき

en Goto, Miki

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荒井, 俊彦

× 荒井, 俊彦

ja 荒井, 俊彦

en Arai, Toshihiko

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 The behavior of CF2 radicals was studied as a function of the temperature of the wall of the cylindrical cathode in de-pulsed CF4 hollow cathode discharge plasma. Laser-induced fluorescence was used to examine the temporal behavior and radial distribution of CF2 radical density. The CF2 radical density increased about six times of magnitude by changing the wall temperature between 22℃ and 100℃. The surface loss probability for CF2 radicals was estimated from the radial distribution of the CF2 radical density in the active plasma. The results show that the increase of the CF2 radical density in the heated wall can be interpreted as a decrease in the surface loss probability of CF2 radicals.
言語 en
書誌情報 神奈川工科大学研究報告.B,理工学編

巻 B, 号 26, p. 11-14, 発行日 2002-03-20
出版者
出版者 神奈川工科大学
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 09161902
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10074179
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
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Ver.1 2023-05-15 15:06:01.110145
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