WEKO3
アイテム / O2/CF4プラズマによるダイヤモンドエッチングとプラズマパラメータ / kkb-028-010
kkb-028-010
| ファイル | ライセンス |
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 kkb-028-010.pdf (1.7 MB)
sha256
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| 公開日 | 2010-02-03 | |||||
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| ファイル名 | kkb-028-010.pdf | |||||
| 本文URL | https://kait.repo.nii.ac.jp/record/963/files/kkb-028-010.pdf | |||||
| ラベル | kkb-028-010.pdf | |||||
| オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 1.7 MB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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