| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
バックスパッタによる微細針状ダイヤモンド電極の表面形状と二次電子放出特性 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Surface morphology and secondary electron emission property of micro-needle structured diamond electrode fabricated by back sputtering |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
secondary electron emission |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
diamond electrode |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
micro-needle array |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
V-Q Lissajous |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MgO |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
breakdown voltage |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00001079 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
比嘉, 司
小野, 志門
三栖, 貴行
後藤, みき
荒井, 俊彦
Higa, Tsukasa
Ono, Shimon
Misu, Takayuki
Goto, Miki
Arai, Toshihiko
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
The roughness of diamond surfaces were formed using O2 gas in a reactive ion etching (RIE) system. The electrode materials were used stainless steel (SUS) and MgO sintered ceramic. The diamond samples to be etched are positioned on the power electrode. After etching the diamond samples with O2 plasma, the roughness of diamond surfaces were observed with atomic force microscope (AFM). The breakdown voltages of diamond electrodes were measured under various Ne pressure with a V-Q Lissajous method. The micro-needle array on the diamond surface was fabricated at MgO electrode. The secondary electron emission coefficient in the case of MgO electrode is about two times higher than those in the case of SUS electrode. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 36,
p. 41-44,
発行日 2012-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-036-007.pdf (12.5 MB)
