| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
Metal/Semiconductor構造における金属電極直下に広がる空乏層の光音響信号モデル |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Photoacoustic signal model of depletion layer spread beneath metal electrode in metal/semiconductor structure |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
photoacoustic (PA) method |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
thermal-wave |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
depletion layer |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
metal/semiconductor (M/S) structure |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Schottky barrier |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00001091 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
村上, 雅彦
高畠, 信也
荒井, 俊彦
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
In order to clarify the detailed operation mechanism of a semiconductor device, it is necessary to know the information of the depletion layer in the depth direction. With the Schottky barrier of a metal/semiconductor (MIS) structure, the depletion layer spreads in the depth direction directly beneath an electrode. The theoretical analysis of the thermal diffusion equation was applied to the photoacoustic (PA) signal model of the depletion layer. As a result, the thermal conductivity ratio characteristic of the PA signal of the depletion layer which spreads in the depth direction directly beneath the metal electrode was obtained. The amplitude ratio of the PA signal increased with the increase in the ratio of thermal conductivity and decreased with the increase in the thickness of the depletion layer. As increasing the ratio of thermal conductivity, the phased ifference of the PA signal decreased over about 0.01. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 37,
p. 77-81,
発行日 2013-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-037-015.pdf (2.5 MB)
