WEKO3
アイテム
Spatial Distribution of Cu Atoms Sputtered from Copper Target in RF Magnetron Sputtering
https://doi.org/10.34411/00000902
https://doi.org/10.34411/00000902b79d34ae-ce79-4dd2-80eb-f48f6afe064b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kkb-025-021.pdf (2.4 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-11-24 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Spatial Distribution of Cu Atoms Sputtered from Copper Target in RF Magnetron Sputtering | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | sputter deposition | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | thin films | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | quartz-crystal deposition monitor | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | mean free path | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.34411/00000902 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| 著者 |
万代, 敏夫
× 万代, 敏夫
× Bandai, Toshio
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| 抄録 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||
| 内容記述 | The spatial distribution of Cu atoms sputtered from a copper target in an RF magnetron sputtering was measured by the use of a quartz-crystal deposition monitor. At Argon pressure of 20 Pa, the angular distribution of sputtered atoms had a cosine-like distribution. At the lower Argon pressure, however, the deposition rate decreased at the front the target. This decrease was due to energetic neutral Ar atoms which bombarded and evaporated the growing films at the front of the target. The spatial distribution of Cu atoms sputtered from the target was simulated using the Monte Carlo method and compared with the observed result. | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編 巻 25, p. 131-136, 発行日 2001-03-20 |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 神奈川工科大学 | |||||||||
| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 09161902 | |||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
| 収録物識別子 | AN10074179 | |||||||||
| フォーマット | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
