WEKO3
アイテム
Siウェーハ表面層のマイクロ波光導電周波数応答による評価
https://doi.org/10.34411/00000930
https://doi.org/10.34411/000009302bda1eb8-990a-4ee3-89e8-b0cccdcd3df9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kkb-027-001.pdf (2.1 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2020-11-24 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Siウェーハ表面層のマイクロ波光導電周波数応答による評価 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Si Wafer Subsurface Characterization Using Microwave Photoconductivity Frequency Responses | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Si wafer | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Subsurface carrier lifetime | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Subsurface characterization | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | H2+ ion implantation | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Polishing pressure | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||
| ID登録 | 10.34411/00000930 | |||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||
| 著者 |
安野, 勇樹
× 安野, 勇樹
× 荻田, 陽一郎
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Photoconductivity frequency responses (PCF) method with blue laser photoexcitation has been developed for evaluating surface and subsurface property. Carrier lifetimes obtained from PCF measurements for silicon wafers has revealed to correspond to that determined from surface and subsurface lifetimes,due to comparing with lifetime by Bi-surface photoconductivity decay. PCF photoconductivity amplitude reflected nearbysurface damage induced by H2+ ion implantation. PCF reflected microroughness and subsurface damage induced by chemomechanical polishing. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編 巻 27, p. 1-5, 発行日 2003-03-20 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 神奈川工科大学 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 09161902 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10074179 | |||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
