| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
接触電位差によるSiウェーハ表面層評価 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Silicon Subsurface Evaluation with Contact Potential Difference |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Contact potential difference |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Work function |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Silicon wafer |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Subsurface |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Subsurface characterization |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Epitaxial wafer |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Subsurface damage |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Contamination characterization |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00000939 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
荻田, 陽一郎
山口, 昌一
Ogita, Yo-ichiro
Yamaguchi, Masakazu
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Non-contacting evaluation method using contact potential difference is developed for evaluating subsurface property of silicon wafers. Measured contact differences for n-and ptype silicon crystals were well corresponding to that calculated. Positively and negatively charged surfaces of silicon wafers caused positive and negative contact potentiai difference, respectively. Contact potential differences well reflected damage induced in 200nm depth due to H2 + ion implantation. Contact potential differences reflected microroughness and damage induced by chemomechanical polishing. Influence of Mo and Fe contaminant introduced into epilayer of epitaxial Si wafers was detected to change contact potential difference. Finally, we conclude that contact potential difference measurements enable to revel crystalline property in silicon subsurface. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 27,
p. 13-18,
発行日 2003-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-027-003.pdf (2.9 MB)
