| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2020-11-24 |
| タイトル |
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タイトル |
Cat-CVDアルミナMISゲートの作製と特性 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Fabrication of Alumina MIS Gate with Cat-CVD and Its Characteristics Measurement |
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言語 |
en |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Cat-CVD |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
High-k |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Alumina |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Al2O3 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Interface trap density |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Fixed charge density |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MOS diode |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
C-V characteristics |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
I-V characteristics |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Leakage current |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.34411/00000932 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
家原, 清志
荻田, 陽一郎
冨田, 寿行
Iehara, Shinshi
Ogita, Yo-ichiro
Tomita, Toshiyuki
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
We have developed a catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) method to deposit alumina thin films on a silicon crystal using N2 bubbled tri-methyl aluminum ((CH3)3Al,TMA) and molecule oxygen (O2) as source species and a tungsten wire as a catalyzer. The tungsten catalyzer decomposed TMA at about 600°C. The typical deposition rate was 18 nm/min for catalyzer temperature of 1000°C and substrate temperature of 800℃ and 6.5nm/min for substrate temperature of 400℃ MIS diodes were fabricated with the alumina gate on 32.5 nm thick amorphous film deposited at substrate temperature of 400°C. The capacitance measurement resulted in a relative dielectric constant of 7.4, fixed charge density of 1.74X 1012cm-2,a slight hysteresis voltage as 0.12V and very few interface trapping charges. The leakage current was 5.01 X1 0-7 A/cm2 at bias voltage of 1V. |
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言語 |
en |
| 書誌情報 |
神奈川工科大学研究報告.B,理工学編
巻 27,
p. 7-11,
発行日 2003-03-20
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| 出版者 |
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出版者 |
神奈川工科大学 |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
09161902 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN10074179 |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
kkb-027-002.pdf (2.3 MB)
